Das IOT besteht seit 2006 als eine zentrale Einrichtung der Hochschule Zittau/Görlitz.
Dem Querschnittscharakter der Oberflächentechnik Rechnung tragend, wurde im Januar 2006 das Institut für Oberflächentechnik als zentrale wissenschaftliche Einrichtung der Hochschule Zittau/Görlitz gegründet. Es bündelt die Kompetenzen der drei Fakultäten F-M (Maschinenwesen), F-N (Natur- und Umweltwissenschaften) und F-EI (Elektrotechnik und Informatik). Diese resultieren aus der seit 1994 geleisteten Forschungs- und Bildungsarbeit. Die dabei aufgebauten überregionalen Kontakte und Mitarbeiterqualifizierungen sichern Forschung auf aktuellstem Wissenstand.
Die vernetzte Zusammenarbeit mit regionalen Firmen ermöglicht den Zugriff auf ein hohes technologisches Potenzial. Damit kann zeitgemäß auf vielseitige wirtschaftliche Anforderungen reagiert und der Komplexität der Forschungsprojekte entsprochen werden. Gleichzeitig wird ein wichtiger Beitrag zur regionalen Wirtschaftsentwicklung geleistet.
Vorhandene Kompetenzen und Kapazitäten werden nicht zuletzt in die studentische Ausbildung eingebracht. Projektarbeiten sowie Bachelor-, Diplom- und Masterarbeiten tragen wesentlich zur Leistungsentwicklung und -fähigkeit des Instituts bei.