| Verfahrenseinordung | Vakuum-Bogen-Verdampfen (Arc) |
|---|---|
| Beschichtungsquellen | 4 Doppelverdampfer 63 mm rund mit je 100 A DC |
| Targetmaterial (vorhanden) | AlTi, Cr, Ti, Zr |
| Betriebs und Reaktionsgase | Argon, Stickstoff, Sauerstoff, Acetylen |
| BIAS | bis 1.250 V, 30 kW |
| Substratführung | 2-fach Rotation |
| maximale Substratabmessung bei 2-fach Rotation | d x h = 160 mm x 900 mm |
| maximale Substratabmessung bei Einfachrotation | d x h = 600 mm x 900 mm |
