Verfahreinordnung | Magnetro Sputtern |
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Beschichtungsquellen | 1 Magnetron 50mm 40 W DC gepulst |
Tragetmaterial (vorhanden) | Ag, Au, Ti, Cu, CuFe, PtRh 90/10 |
Betriebs und Reaktivgase | Argon |
BIAS | keine |
Substratführung | statisch |
Substratabmessung (maximal) | d x h = 50mm x 10mm |