Ultra S 150

VerfahreinordnungMagnetro Sputtern
Beschichtungsquellen1 Magnetron 50mm 40 W DC gepulst
Tragetmaterial (vorhanden)Ag, Au, Ti, Cu, CuFe, PtRh 90/10
Betriebs und ReaktivgaseArgon
BIASkeine
Substratführungstatisch
Substratabmessung (maximal)d x h = 50mm x 10mm
DC- Sputteranlage
DC- Sputteranlage
Foto: Dipl.-Ing. (FH) Matthias Herrmann
Ansprechpartner
Dipl.-Ing. (FH)
Matthias Herrmann
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Fakultät Maschinenwesen
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